| 一种基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法 |
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| 引用本文： | 霍鹏飞 马炳和 苑伟政. 一种基于多端口组件网络的MEMS系统级建模方法[J]. 机械科学与技术, 2005, 24(2): 192-194,198 |
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| 作者姓名： | 霍鹏飞 马炳和 苑伟政 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072;西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072;西北工业大学,微/纳米系统实验室,西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(50205022)，863/MEMS重大专项项目(2003AA414017)，西北工业大学“英才培养计划”基金项目资助 |
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| 摘 要： | 以多端口组件及其网络的研究作为理论基础,创建了专门针对MEMS的系统级建模方法———用单个组件 表示MEMS的各功能结构部件,组件的端口表征与部件有关的各种物理量,依据一定规则联结组件形成的网络表 征整个微系统。该方法采用常微分和代数方程描述组件的行为,混合信号硬件描述语言作为组件及其网络的建模 语言。以梁为例,阐述了如何建立其行为方程,以得到参数化、可供重用的组件模型。上述研究结合微加速度计的 系统级设计应用实例,表明该方法是实现MEMS系统级建模的有效手段,能针对MEMS固有的多能量域耦合行为 等进行快速建模与仿真。
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| 关 键 词： | 多端口组件网络 系统级建模 MEMS 硬件描述语言 |
| 文章编号： | 1003-8728(2005)02-0192-03 |
A System Level Modeling Method of MEMS Using Multi-Port-Component Network |
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| HUO Peng-fei,MA Bing-he,YUAN Wei-zheng. A System Level Modeling Method of MEMS Using Multi-Port-Component Network[J]. Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering, 2005, 24(2): 192-194,198 |
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| Authors: | HUO Peng-fei MA Bing-he YUAN Wei-zheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | System level modeling Multi-port-component network MEMS |
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