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| 激光再结晶SOM材料及压力传感器研究 | |
| 引用本文： | 邢昆山,许学敏.激光再结晶SOM材料及压力传感器研究[J].电子学报,1989,17(1):108-111. |
| 作者姓名： | 邢昆山 许学敏 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 (邢昆山，许学敏，林成鲁，陈莉芝，谭松生)，中国科学院上海冶金研究所(邹世昌) |
| 摘 要： | 用CW Ar~+激光对B~+注入(60keV,5×10~(15)cm~(-2))非晶硅SOM材料进行辐照再结晶,获得了高灵敏度的压阻材料,其GF在30左右。结晶后的晶粒增大到10μm×40μm,且杂质分布均匀,电学性质大大提高。用该材料制备的桥路压力传感器,灵敏度为6mV/V bar,具有良好的输出线性度。 |
| 关 键 词： | 压力 传感器 SOM 压阻材料 |
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