激光再结晶SOM材料及压力传感器研究 |
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作者姓名: | 邢昆山 许学敏 |
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作者单位: | 中国科学院上海冶金研究所(邢昆山,许学敏,林成鲁,陈莉芝,谭松生),中国科学院上海冶金研究所(邹世昌) |
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摘 要: | 用CW Ar~+激光对B~+注入(60keV,5×10~(15)cm~(-2))非晶硅SOM材料进行辐照再结晶,获得了高灵敏度的压阻材料,其GF在30左右。结晶后的晶粒增大到10μm×40μm,且杂质分布均匀,电学性质大大提高。用该材料制备的桥路压力传感器,灵敏度为6mV/V bar,具有良好的输出线性度。
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关 键 词: | 压力 传感器 SOM 压阻材料 |
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