| Al/Zr-V/Mo多层膜的吸氘性能研究 |
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| 引用本文： | 王海峰,彭述明,张小红,龙兴贵,杨本福. Al/Zr-V/Mo多层膜的吸氘性能研究[J]. 原子能科学技术, 2005, 39(1): 80-83 |
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| 作者姓名： | 王海峰 彭述明 张小红 龙兴贵 杨本福 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院,核物理与化学研究所,四川,绵阳,621900 |
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| 摘 要： | 对Al/Zr V/Mo多层膜的吸氘性能进行了实验研究。铝膜仅在320 ℃有单一的除气峰,Zr V膜的除气峰有2个,分别为220和350 ℃。当铝层平均厚度小于 0 6μm时,Al/Zr V多层膜的除气峰类似于Zr V膜;大于0 6μm时,类似于铝膜。多层膜的吸氘量随铝膜的厚度增加逐步减小,直至铝膜的平均厚度为0 7μm后,吸氘量不再有大的变化,但有小幅波动。由于 Al膜在除气中有不同程度的破坏,当铝膜平均厚度小于0 6μm时,多层膜的吸氘速率变化行为类似于 Zr V膜;当铝膜厚度大于 0 6μm时,多层膜的吸氘速率受铝膜厚度的影响不大。
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| 关 键 词： | Al ZrV ZrV2 吸氘 |
| 文章编号： | 1000-6931(2005)01-0080-04 |
Deuterium Absorption Property of Al/Zr-V/Mo Multifilms |
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| WANG Hai-feng,PENG Shu-ming,ZHANG Xiao-hong,LONG Xing-gui,YANG Ben-fu. Deuterium Absorption Property of Al/Zr-V/Mo Multifilms[J]. Atomic Energy Science and Technology, 2005, 39(1): 80-83 |
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| Authors: | WANG Hai-feng PENG Shu-ming ZHANG Xiao-hong LONG Xing-gui YANG Ben-fu |
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| Keywords: | Al Zr-V ZrV_2 deuterium absorption |
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