| 基于原子力显微镜的压痕模式和双模纳米力学模式在模量表征中的影响因素 |
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| 引用本文： | 单齐冀,韩瑶,张莹,李慧琴. 基于原子力显微镜的压痕模式和双模纳米力学模式在模量表征中的影响因素[J]. 电子显微学报, 2022, 41(2): 154-160. DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2022.02.008 |
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| 作者姓名： | 单齐冀 韩瑶 张莹 李慧琴 |
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| 作者单位： | 上海交通大学分析测试中心,上海200240 |
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| 摘 要： | 原子力显微镜是表征材料微观力学性质的重要手段,本文基于原子力显微镜的压痕法和双模纳米力学法,探究薄膜/基底材料与多层二维材料杨氏模量测定过程中的影响因素,分析了基底硬度、二维材料厚度以及环境湿度对两种纳米力学表征结果的影响,为研究适用于纳米材料微观力学的测定提供参考.
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| 关 键 词： | 压痕模式 双模纳米力学模式 基底 厚度 湿度 |
Influence factors of indentation mode and bimodal nanomechanical mode based on atomic force microscope in modulus characterization |
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| SHAN Qi-ji,HAN Yao,ZHANG Ying,LI Hui-qin. Influence factors of indentation mode and bimodal nanomechanical mode based on atomic force microscope in modulus characterization[J]. Journal of Chinese Electron Microscopy Society, 2022, 41(2): 154-160. DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.2022.02.008 |
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| Authors: | SHAN Qi-ji HAN Yao ZHANG Ying LI Hui-qin |
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