| 应用于石墨烯MEMS高温压力传感器的气密封装研究 |
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| 引用本文： | 陈绪文,王俊强,吴天金. 应用于石墨烯MEMS高温压力传感器的气密封装研究[J]. 电子元件与材料, 2022, 41(5): 508-513. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.0143 |
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| 作者姓名： | 陈绪文 王俊强 吴天金 |
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| 作者单位： | 中北大学 仪器与电子学院, 山西 太原 030051,中北大学 仪器与电子学院, 山西 太原 030051;中北大学 前沿交叉学科研究院, 山西 太原 030051 |
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| 基金项目： | 国防科技173计划技术领域基金项目 |
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| 摘 要： |
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| 关 键 词： | 石墨烯 Au-Au键合 高气密封装 MEMS高温压力传感器 |
Study on hermetic packaging of high-temperature graphene MEMS pressure sensor |
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| CHEN Xuwen,WANG Junqiang,WU Tianjin. Study on hermetic packaging of high-temperature graphene MEMS pressure sensor[J]. Electronic Components & Materials, 2022, 41(5): 508-513. DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2022.0143 |
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| Authors: | CHEN Xuwen WANG Junqiang WU Tianjin |
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