电容式静力水准系统的研制及测试

为了满足粒子加速器中垂直位置变化的高精度监测需求，该文研制了电容式静力水准系统，并对其进行指标验证和标定试验。测试结果表明，静力水准系统样机量程可达12 mm，分辨率最高可达1μm，重复性高于0.26%，线性度高于0.45%，长时间的测试结果验证了系统性能。后期将从数据拟合方法和温度补偿2个方面继续优化测量精度。