| 相对湿度对AFM针尖阳极氧化金属薄膜的影响 |
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| 引用本文： | 匡登峰,刘庆纲,郭维廉,张世林,胡小唐. 相对湿度对AFM针尖阳极氧化金属薄膜的影响[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 142-144 |
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| 作者姓名： | 匡登峰 刘庆纲 郭维廉 张世林 胡小唐 |
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| 作者单位： | 1. 天津大学精密测试计量技术及仪器国家重点实验室,天津,300072
2. 天津大学电子信息工程学院,天津,300072 |
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| 基金项目： | 教育部天津大学南开大学科技合作项目;天津市自然科学基金项目(013602111) |
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| 摘 要： | AFM针尖诱导氧化加工的金属(Ti、Al、Nb等)纳米氧化线是实现金属-半导体纳米器件的基础，由大气湿度决定的金属膜表面水吸附层的厚度，对控制阳极诱导氧化加工的结果起重要作用。实验研究了大气湿度对Ti氧化线高度、宽度和纵横比的影响，结果表明进行氧化加工Ti膜的较好的湿度范围为30％～50％。
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| 关 键 词： | 相对湿度 AFM 阳极氧化 金属薄膜 金属氧化线 金属-半导体纳米器件 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0142-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Relative humidity effect on AFM anodic oxidation of metal film |
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