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| 静电探针测量射频感应耦合等离子体密度 | |
| 引用本文： | 曹小明,顾彪,徐茵,张砚臣.静电探针测量射频感应耦合等离子体密度[J].中国测试技术,1999(4). |
| 作者姓名： | 曹小明 顾彪 徐茵 张砚臣 |
| 作者单位： | 中科院沈阳金属所，大连理工大学电磁系，深圳华为集团产品部 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种可以测量射频感应耦合等离子体密度的静电探针方法。并给出了它的测量原理，实验方法和实验结果。实验结果表明：所测等离子体密度反映了等离子体的特性，并且诊断手段简单、易行，为等离子体诊断提供了一种很好的实验手段。 |
| 关 键 词： | 等离子体诊断 静电探钉 等离子体密度 |
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