| 脉冲激光沉积(PLD)法生长纳米ZnO薄膜的探索 |
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| 引用本文： | 仇旭升,谢可可,孔明光,汪壮兵,刘炳龙,马渊明,章伟,梁齐.脉冲激光沉积(PLD)法生长纳米ZnO薄膜的探索[J].材料导报,2008,22(Z1). |
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| 作者姓名： | 仇旭升 谢可可 孔明光 汪壮兵 刘炳龙 马渊明 章伟 梁齐 |
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| 摘 要： | 在Si衬底上用脉冲激光沉积法生长C轴取向高度一致的ZnO纳米薄膜.实验制备ZnO纳米结构,其颗粒尺寸的控制是关键.通过改变衬底温度(400～700℃)和沉积时间,获得不同的ZnO纳米结构.SEM观察,在600℃时颗粒均匀且间隔明显,且该薄膜结构为不连续膜,这与其他衬底温度下所形成的薄膜结构有很大差异.XRD显示,600～700℃结晶良好.
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| 关 键 词： | 纳米薄膜 |
Study of ZnO Nano Films Prepared by Pulsed Laser Deposition |
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| QIU Xusheng,XIE Keke,KONG Mingguang,WANG Zhuangbing,LIU Binglong,MA Yuanming,ZHANG Wei,LIANG Qi.Study of ZnO Nano Films Prepared by Pulsed Laser Deposition[J].Materials Review,2008,22(Z1). |
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| Authors: | QIU Xusheng XIE Keke KONG Mingguang WANG Zhuangbing LIU Binglong MA Yuanming ZHANG Wei LIANG Qi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PLD XRD |
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