基于COMSOL的微带电极阵列关键结构优化 |
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引用本文: | 徐朋朋,刘冲,李扬,王堃,法丽扎,李经民.基于COMSOL的微带电极阵列关键结构优化[J].机电工程技术,2019,48(11). |
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作者姓名: | 徐朋朋 刘冲 李扬 王堃 法丽扎 李经民 |
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作者单位: | 大连理工大学机械工程学院,辽宁大连,116024;大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁大连,116024 |
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摘 要: | 为了研究不同特征尺寸对微带电极阵列电化学性能的影响,首先使用COMSOL有限元软件对不同特征尺寸微带电极阵列进行建模,分析了微带电极阵列表面电活性物质的浓度分布与循环伏安性能;然后,利用微加工技术制作了集成有不同特征尺寸微带电极阵列的微流控芯片,在亚铁氰化钾(K_4Fe(CN)_6])溶液中对微带电极阵列的循环伏安性能进行测试;最后,根据仿真与实验结果推导修正公式,并验证修正公式的可靠性。结果表明,在0.5 mmol/L K4Fe(CN)6]溶液进行扫速为1 V/s的循环伏安测试时,对于宽度为20μm和10μm的微带电极阵列,间距取40μm可避免屏蔽效应。优化后的结构对设计微带电极阵列具有指导意义。
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关 键 词: | 微带电极阵列 电化学检测 电流响应 微流控芯片 循环伏安法 |
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