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| 生长在尖晶石衬底上的GaN外延层的喇曼散射研究 | |
| 作者姓名： | 李国华 韩和相 丁琨 汪兆平 段树坤 |
| 作者单位： | 半导体超晶格国家重点实验室 |
| 摘 要： | 在室温下测量了用ＭＯＶＰＥ方法生长在尖晶石（ＭｇＡｌ２Ｏ４）衬底上的ＧａＮ外延层的一阶喇曼光谱．应用各种背散射和９０°散射配置，测得了除低频Ｅ２模外所有ＧａＮ的喇曼活性光学声子模．并且在Ｘ（Ｚ，Ｘ）Ｚ和Ｘ（Ｙ，Ｙ）Ｚ配置下观测到了由Ａ１和Ｅ２模混合形成的准ＴＯ和准ＬＯ模．所得结果与群论选择定则预计的一致 |
| 关 键 词： | 氮化镓 外延生长 喇曼散射 尖晶石衬底 |
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