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载流子扩散对电荷耦合器件调制传递函数的影响
引用本文:宋敏,张颖,郐新凯,郑亚茹.载流子扩散对电荷耦合器件调制传递函数的影响[J].半导体学报,2004,25(3):307-311.
作者姓名:宋敏  张颖  郐新凯  郑亚茹
作者单位:大连民族学院机电信息工程系 大连116600 (宋敏),辽宁师范大学物理系 大连116029 (张颖,郐新凯),辽宁师范大学物理系 大连116029(郑亚茹)
基金项目:辽宁省自然科学基金 , 大连民族学院校科研和教改项目
摘    要:以表面沟道前射电荷耦合器件(CCD)为例,从理论上讨论了CCD内载流子扩散的机制,提出了利用光积分周期内收集的总信号电荷密度求CCD调制传递函数的方法,并获得了耗尽宽度随信号电荷密度改变时的CCD调制传递函数曲线,讨论了载流子扩散对传递函数的影响.利用已有的传递函数测量仪进行实验,数值模拟结果与实验结果基本吻合.

关 键 词:电荷耦合器件    调制传递函数    载流子扩散
文章编号:0253-4177(2004)03-0307-05
修稿时间:2003年3月15日

Influence of Carrier Diffusion on Modulation Transfer Function of Charge Coupled Devices
Song Min,Zhang Ying,Gui Xinkai and Zheng Yaru.Influence of Carrier Diffusion on Modulation Transfer Function of Charge Coupled Devices[J].Chinese Journal of Semiconductors,2004,25(3):307-311.
Authors:Song Min  Zhang Ying  Gui Xinkai and Zheng Yaru
Affiliation:Song Min1,Zhang Ying2,Gui Xinkai2 and Zheng Yaru2
Abstract:The mechanism of carrier diffusion in a charge coupled device is discussed using surface channel and front illumination as example.A method is presented for calculating the modulation transfer function (MTF) of CCD by using the total signal charge collected during a period of illumination.The MTF curve is obtained when the depletion width varies with the signal charge density.That carrier diffusion effected on the modulation transfer function is analyzed.The experiments are done by using the measuring setup of MTF,and the numerical simulating results fit with the experimental results.
Keywords:charge-coupled device  modulation transfer function  carrier diffusion
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