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非球面非零位拼接测量的对准误差模型
引用本文:王伟波.非球面非零位拼接测量的对准误差模型[J].光电子.激光,2010(2):240-244.
作者姓名:王伟波
作者单位:哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所;
基金项目:国家自然科学基金资助项目(50675052)
摘    要:为消除非零位拼接检测非球面中对准误差对拼接结果的影响,建立了基于对准误差修正的优化拼接模型;在非零位检测非球面对准误差模型的基础上,分析对准误差各误差分量的表现形式及影响规律,并建立了基于对准误差补偿的拼接检测非球面的数学模型,实现子孔径的高精度拼接合成。实验表明,该方法可以有效地提高拼接测量精度,经过对准误差校正的拼接测量结果的PV值精度可达0.03λ。

关 键 词:非球面  非零位检测  子孔径拼接  对准误差

Alignment error for aspheric surfaces monnull stitching testing
WANG Wei-bo.Alignment error for aspheric surfaces monnull stitching testing[J].Journal of Optoelectronics·laser,2010(2):240-244.
Authors:WANG Wei-bo
Affiliation:Institute of Ultra-precision Optoelectronic Instrument Engineering;Harbin Institute of Technology;Harbin 150001;China
Abstract:The alignment error model is established to eliminate the influence of alignment error on sub-aperture stitching test for aspheric surface.The characteristics and effects of alignment error on the testing results are analyzed based on the alignment error model.So the stitching model with the alignment error compensation is proposed for aspheric surface non-null testing.Simulations and experiments are given to verify the validity and precision of the proposed algorithm.The result shows that the proposed meth...
Keywords:aspheric surface  non-null test  sub-aperture stitching  alignment error  
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