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双层复合纳米森林结构的制备及其宽光谱高吸收光学特性研究
引用本文:杨宇东,毛海央,李锐锐,贾云丛,熊继军,王玮冰.双层复合纳米森林结构的制备及其宽光谱高吸收光学特性研究[J].红外与毫米波学报,2018,37(2):246-250.
作者姓名:杨宇东  毛海央  李锐锐  贾云丛  熊继军  王玮冰
作者单位:中北大学仪器与电子学院;中国科学院微电子研究所智能感知研发中心
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划),国家自然科学基金项目(面上项目,重点项目,重大项目)
摘    要:基于等离子体再聚合技术制备了纳米纤维—纳米锥双层森林结构,并通过磁控溅射工艺在结构表面引入金属纳米颗粒实现了双层复合纳米森林结构,工艺流程简单便捷,与常规微纳加工工艺兼容性好,易于实现大面积的并行加工.将纳米森林的陷光效应和金属纳米颗粒的表面等离激元效应相结合,对双层复合纳米森林结构的光吸收特性进行深入研究与探索,最终实现了该复合纳米森林结构在1.5~25μm波长范围内84.1%的平均吸收率.具有宽光谱高吸收光学特性的双层复合纳米森林结构有望在提高红外器件性能和拓展器件应用等方面获得广泛应用.

关 键 词:等离子体再聚合  纳米森林结构  表面等离激元  宽光谱高吸收
收稿时间:2017/9/18 0:00:00
修稿时间:2018/1/16 0:00:00

Fabrication and broadband high absorption features of double-layer hybrid nanoforests
YANG Yu-Dong,MAO Hai-Yang,LI Rui-Rui,JIA Yun-Cong,XIONG Ji-Jun and WANG Wei-Bing.Fabrication and broadband high absorption features of double-layer hybrid nanoforests[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2018,37(2):246-250.
Authors:YANG Yu-Dong  MAO Hai-Yang  LI Rui-Rui  JIA Yun-Cong  XIONG Ji-Jun and WANG Wei-Bing
Abstract:
Keywords:plasma repolymerization  nanoforests  surface plasmon  broadband high absorption
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