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| 电感耦合等离子体质谱法测定电子级NF_3中金属杂质 | |
| 引用本文： | 焦培培,黄晓磊,杨亚琴,吴旭飞,付梦月,张亚平.电感耦合等离子体质谱法测定电子级NF_3中金属杂质[J].化学推进剂与高分子材料,2018(5). |
| 作者姓名： | 焦培培 黄晓磊 杨亚琴 吴旭飞 付梦月 张亚平 |
| 作者单位： | 洛阳黎明大成氟化工有限公司;黎明化工研究设计院有限责任公司 |
| 摘 要： | 采用密闭的取样系统吸收电子级NF_3中金属杂质,利用电感耦合等离子体质谱法(ICP—MS)测定了吸收液的金属杂质含量。结果表明:该方法测定电子级NF_3中金属杂质含量的相对标准偏差≤3.09%,NF_3中各项金属杂质含量远远低于指标3×10–9。 |
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