单晶硅线切割液润滑性能的研究

重点研究了单晶硅片切割用水基切割液中润滑剂的摩擦性能影响因素。研究了不同种类水基润滑剂的摩擦学性能。结果表明:在使用自制植物油改性润滑剂,使用浓度为万分之七的情况下,具备优异的润滑性能。