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| 石蜡熔融沉积的线宽试验优化设计 | |
| 作者姓名： | 张金松 郑凯特 渠国洋 |
| 作者单位： | 上海大学机电工程与自动化学院 |
| 摘 要： | 设计了气动式的石蜡熔融沉积装置,采用正交实验的方法,研究温度t、气压P、喷嘴直径d、喷嘴距离基板高度h和基板移动速度v等工艺参数对熔融石蜡沉积线宽的影响.实验结果分析表明:工艺参数对线宽影响的显著性由大到小依次是喷嘴直径、气压和基板移动速度,最优参数组合为t=80℃,P=0.2 MPa,d=0.4mm,v=5.4mm/s和h=0.3mm;单因素验证试验证实了正交试验结果的正确性. |
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