| Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层薄膜在微型钻头上的应用性能 |
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| 引用本文： | 林松盛,代明江,侯惠君,朱霞高. Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层薄膜在微型钻头上的应用性能[J]. 材料保护, 2010, 43(11) |
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| 作者姓名： | 林松盛 代明江 侯惠君 朱霞高 |
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| 作者单位： | 广州有色金属研究院材料表面工程研究所,广东,广州,510651;广州有色金属研究院材料表面工程研究所,广东,广州,510651;广州有色金属研究院材料表面工程研究所,广东,广州,510651;广州有色金属研究院材料表面工程研究所,广东,广州,510651 |
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| 基金项目： | 广东省技术创新基金资助项目 |
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| 摘 要： | 为了提高微电子线路板(PCB)加工用微型钻头的使用寿命及保证钻孔质量,采用中频反应磁控溅射、离子束辅助的方法分别在WC硬质合金和微型钻头上沉积了Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层梯度硬质薄膜,研究了多层膜的结构、形貌及钻削性能.结果表明:在WC硬质合金上沉积的多层膜显微硬度为2 631HV,膜/基结合力大于80N,摩擦系数为0.113;镀膜后微钻刃型完好,刃型角度没有改变,同一钻头不同部位沉积的膜层厚度一致;微钻镀膜后使用寿命提高1倍以上,且解决了断针、批锋、塞孔等问题,同时满足孔位精度、孔壁粗糙度等技术要求.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 多元多层薄膜 微型钻头 钻削性能 |
Drilling Performance of Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN Multi-Component Multilayer Film on Micro-Drills |
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| LIN Song-sheng,DAI Ming-jiang,HOU Hui-jun,ZHU Xia-gao. Drilling Performance of Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN Multi-Component Multilayer Film on Micro-Drills[J]. Journal of Materials Protection, 2010, 43(11) |
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| Authors: | LIN Song-sheng DAI Ming-jiang HOU Hui-jun ZHU Xia-gao |
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