| 钛酸锶钡(BST)薄膜晶化过程研究 |
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| 引用本文： | 孙晓峰,姜斌,蒋书文,张鹰,王恩信,李燕,黄文. 钛酸锶钡(BST)薄膜晶化过程研究[J]. 材料导报, 2004, 18(10): 82-84 |
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| 作者姓名： | 孙晓峰 姜斌 蒋书文 张鹰 王恩信 李燕 黄文 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅RF-magnetron sputting)法制备了钛酸锶钡(BST)薄膜,用快速热处理(RTA)和常缮规热处理(CFA)对薄膜进行晶化.利用AFM、XRD等技术分析了钛酸锶钡薄膜的晶化过程,以及不同退火温度和退火方法下薄膜的晶粒、晶相特性.实验表明:钛酸锶钡薄膜在500℃开始结晶,到700℃左右时结晶比较完善,晶化过程中没有出现择优取向;从表面形貌和X射线衍射图综合分析,快速退火的晶化效果要优于常规退火.
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| 关 键 词： | 钛酸锶钡 快速退火 常规退火 原子力显微镜 X射线衍射 |
Study on Crystallization Process of Barium Strontium Titanate (BST) Thin Films |
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| SUN Xiaofeng JIANG Bin JIANG Shuwen ZHANG Ying WANG Enxin LI Yan HUANG Wen. Study on Crystallization Process of Barium Strontium Titanate (BST) Thin Films[J]. Materials Review, 2004, 18(10): 82-84 |
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| Authors: | SUN Xiaofeng JIANG Bin JIANG Shuwen ZHANG Ying WANG Enxin LI Yan HUANG Wen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | barium strontium titanate rapid thermal annealing conventional furnace annealing atomic force microscope X-ray diffraction |
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