| ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备 |
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| 引用本文： | 刁庚秀,陈文彬.ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备[J].光电子技术,2004,24(4):249-253. |
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| 作者姓名： | 刁庚秀 陈文彬 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院,成都,610054;电子科技大学光电信息学院,成都,610054 |
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| 摘 要： | 介绍了几种用溶胶 凝胶法制备ITO薄膜的工艺方法 ,用其中一种无机的方法成功制备了ITO透明导电膜。当薄膜厚度为 30 0nm左右时 ,所得ITO薄膜在可见光区域内的平均透过率在 85 %以上 ,电阻率最低可达 0 .1 5Ω·cm。
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| 关 键 词： | ITO薄膜 溶胶-凝胶 光电特性 |
| 文章编号： | 1005-488X(2004)04-0249-05 |
| 修稿时间： | 2004年7月27日 |
The Preparation of ITO Thin Film with Sol-gel Technique |
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| DIAO Geng-xiu,CHEN Wen-bin.The Preparation of ITO Thin Film with Sol-gel Technique[J].Optoelectronic Technology,2004,24(4):249-253. |
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| Authors: | DIAO Geng-xiu CHEN Wen-bin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ITO thin film sol-gel optical and electrical properties |
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