| 化学气相沉积法生长透明硒化锌多晶 |
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| 引用本文： | 杨曜源,方珍意,蔡以超,王向阳,张力强,肖红涛,田鸿昌,东艳萍,李卫,郝永亮.化学气相沉积法生长透明硒化锌多晶[J].硅酸盐学报,2004,32(8):946-949. |
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| 作者姓名： | 杨曜源 方珍意 蔡以超 王向阳 张力强 肖红涛 田鸿昌 东艳萍 李卫 郝永亮 |
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| 作者单位： | 人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018;人工晶体研究院,北京,100018 |
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| 摘 要： | 采用化学气相沉积(CVD)法，在Zn-Se-Hz-Ar体系中生长了用于红外光学窗口的ZnSe透明多晶体。测定了ZnSe样品的XRD谱和红外透过光谱，用光学显微镜观察了样品的显微形貌；讨论了CVD工艺中生长参数对ZnSe晶体质量的影响。研究结果表明：通过优化的生长工艺，生长温度在500～750℃，压力在100～1500Pa的范围内，可以制备出高质量ZnSe多晶体；在8～12μm波段范围内，其红外透过率达70％以上。
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| 关 键 词： | 硒化锌 化学气相沉积法 红外晶体 |
| 文章编号： | 0454-5648(2004)08-0946-04 |
| 修稿时间： | 2003年11月26 |
GROWTH OF TRANSPARENT POLYCRYSTAL ZINC SELENIDE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
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| YANG Yaoyuan,FANG Zhenyi,CAI Yichao,WANG Xiangyang,ZHANG Liqiang,XIAO Hongtao,TIAN Hongchang,DONG Yanping,LI Wei,HAO Yongliang.GROWTH OF TRANSPARENT POLYCRYSTAL ZINC SELENIDE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2004,32(8):946-949. |
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| Authors: | YANG Yaoyuan FANG Zhenyi CAI Yichao WANG Xiangyang ZHANG Liqiang XIAO Hongtao TIAN Hongchang DONG Yanping LI Wei HAO Yongliang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | zinc selenide chemical vapor deposition infrared optical crystal |
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