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| 单层多晶的EEPROM | |
| 引用本文： | 任涛,刘志弘,朱钧. 单层多晶的EEPROM[J]. 微纳电子技术, 2003, 40(7): 552-556 |
| 作者姓名： | 任涛 刘志弘 朱钧 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
| 摘 要： | 针对传统双层多晶EEPROM的诸多不足之处，介绍了相对较有潜力的单层多晶的EEP-ROM，主要对比了传统的双层多晶的EEPROM和单层多晶的EEPROM(single poly EEPROM)，展示了single poly EEPROM的应用前景，同时提出了single poly EEPROM所面临的问题，并有针对性地给出了几种解决方案。 |
| 关 键 词： | EEPROM 单层多晶 CMOS工艺 三阱工艺 存储器 结构 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0552-05 |
| 修稿时间： | 2003-05-15 |
Single poly EEPROM |
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