| 丝网印刷三极CNT-FEA的研制 |
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| 引用本文： | 刘卫华,朱长纯. 丝网印刷三极CNT-FEA的研制[J]. 液晶与显示, 2008, 23(2): 178-182 |
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| 作者姓名： | 刘卫华 朱长纯 |
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| 作者单位： | 西安交通大学,电子与信息工程学院,陕西,西安,710049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 制作三极型场发射阵列(FEA),传统上都依赖薄膜工艺及光刻技术.这在很大程度上限制了印刷型碳纳米管阴极的优势.通过改进全丝网印刷工艺,包括一项改进的栅极烧结工艺和一项洁网技术,成功地制作出,32×32的三极型以碳纳米管为阴极的场发射阵列(CNT-FEA).该三极型CNT-FEA具有显著的栅控特性.栅压在150～300 V可以对阳极电流实现良好的控制.栅控电流放大系数超过180.
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| 关 键 词： | 碳纳米管 场发射 丝网印刷 丝网印刷 Print Process Screen 放大系数 阳极电流 栅控特性 控制 栅压 烧结工艺 栅极 印刷工艺 改进 优势 阴极 碳纳米管 印刷型 程度 光刻技术 薄膜工艺 发射阵列 |
| 文章编号： | 1007-2780(2008)02-0178-05 |
| 修稿时间： | 2007-09-05 |
Fabrication of Triode CNT-FEA Using Screen Print Process |
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| LIU Wei-hua,ZHU Chang-chun. Fabrication of Triode CNT-FEA Using Screen Print Process[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2008, 23(2): 178-182 |
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| Authors: | LIU Wei-hua ZHU Chang-chun |
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