| 多层弯曲磁芯微执行器的吸合现象 |
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| 引用本文： | 郭永献,贾建援,张大兴,梁丽萍.多层弯曲磁芯微执行器的吸合现象[J].纳米技术与精密工程,2007,5(2):98-101. |
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| 作者姓名： | 郭永献 贾建援 张大兴 梁丽萍 |
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| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学机电工程学院,西安,710071
2. 航天长征火箭技术有限公司,北京,100076 |
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| 摘 要： | 从多层弯曲磁芯微执行器的模型及原理出发，应用静磁执行器的吸合方程，分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对多层弯曲磁芯微执行器的吸合现象进行了理论分析．计算及仿真结果表明：多层弯曲磁芯微执行器存在临界吸合角度，磁动势控制模型的临界吸合角度约为其最大旋转角度的44％；磁通控制模型的临界吸合角度约为其最大旋转角度的72．35％．磁动势控制实验结果与理论计算值误差约为8％．
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| 关 键 词： | 多层弯曲磁芯微执行器 吸合现象 磁动势 MEMS移相器 |
| 文章编号： | 1672-6030（2007）02-0098-04 |
| 修稿时间： | 2006-12-27 |
Pull-in Phenomena of Multilevel Meander Magnetic Microactuator |
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| GUO Yong-xian,JIA Jian-yuan,ZHANG Da-xing,LIANG Li-ping.Pull-in Phenomena of Multilevel Meander Magnetic Microactuator[J].Nanotechnology and Precision Engineering,2007,5(2):98-101. |
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| Authors: | GUO Yong-xian JIA Jian-yuan ZHANG Da-xing LIANG Li-ping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | multilevel meander magnetic microactuator pull-in phenomena MMF MEMS phase shifter |
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