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引导硅微结构弹性系统的力学分析方法
引用本文:丁晓红,李国杰. 引导硅微结构弹性系统的力学分析方法[J]. 机械设计, 2000, 17(12): 17-20
作者姓名:丁晓红  李国杰
作者单位:1. 苏州大学机电系,江苏,苏州,215021
2. 苏州起重机械厂
基金项目:国家自然科学基金资助项目 !(598750 55)
摘    要:对静电梳微谐振器中引导硅微结构的弹性系统进行了全面的力学分析,建立了符合实际的力学模型,提出了有关的力学分析方法,推导了应力、位移、弹性常数等力学参量的计算公式。与国外文献相比,得到了结论更符合实际。

关 键 词:静电梳微谐振器 力学模型 应力 位移 弹性常数 力学分析

The mechanics analysis methods for elastic system of guiding silicon-microstructures
DING Xiao hong et al. The mechanics analysis methods for elastic system of guiding silicon-microstructures[J]. Journal of Machine Design, 2000, 17(12): 17-20
Authors:DING Xiao hong et al
Abstract:An overall mechanics analysis was carried out on elastic system of guiding silicon-microstructures in electro-static comb microresonator.The mechanics model tally with practice was established. A related mechanics analysis method was advanced, and the calculation formulae of mechanics parameters such as stress, displacement and elasticity constants etc. were derived. Compared with the foreign literatures, the obtained results are more conform to practice.
Keywords:Electro-static driven comb microresonator   Mechanics model   Stress   Displacement   Elasticity constant
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