| 准单色亚稳态氦原子束源系统研究 |
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| 引用本文： | 高洪涛,陈旭南,陈元培. 准单色亚稳态氦原子束源系统研究[J]. 微细加工技术, 2002, 0(2): 24-27 |
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| 作者姓名： | 高洪涛 陈旭南 陈元培 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都,610209 |
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| 基金项目： | 中国科学院创新基金资助项目，中国科学院光电研究所微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助项目 |
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| 摘 要： | 研究设计了一种亚稳氦原子束源系统。采用电子激发方法产生亚稳态氦原子，利用喷嘴经等熵澎胀形成原子束，通过该原子束的纵向速度进行选择，以及利用激光冷却来实现横向准直，制备出准单色亚稳态氦原子束。
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| 关 键 词： | 准单色 亚稳态 氦原子束源系统 喷嘴 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)02-0024-04 |
| 修稿时间： | 2001-10-23 |
Study on Quasi-monochromatic Metastable Helium Atom Beam Source System |
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| GAO Hong-tao,CHEN Xu-nan,CHEN Yuan-pei. Study on Quasi-monochromatic Metastable Helium Atom Beam Source System[J]. Microfabrication Technology, 2002, 0(2): 24-27 |
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| Authors: | GAO Hong-tao CHEN Xu-nan CHEN Yuan-pei |
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| Abstract: | A system of metastable helium atom beam source has been developed.Metastable helium atoms are produced by electron exicitation.A atom beam has been formed as the gases of metastable helium atoms pass through the nozzle in constant entropy expansion process.Quasi-monochromatic beam of metastable helium atom has been obtained by selecting the longitudial velocity of the atom beam and eleminating its transversal velocity with laser cooling. |
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| Keywords: | s:metastable helium collimation quasi-monochromatic atom beam |
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