关于分子泵抽气性能的设计

本文首先用图示的曲线形式讨论了单级涡轮叶列的最佳参数选择。然后着重讨论了修正后的涡轮组合叶列的性能设计,提出了与修正前不同的设计思想,对于涡轮分子泵、尤其是为复合式分子泵的性能设计提供了重要的理论依据。