基于有限元法的声表面波换能器电荷分布的静电解

从麦克斯韦方程和声场波动方程出发，在准静态近似的条件下，建立分析声表面波换能器的有限元方程，计算声表面波换能器表面的静电荷分布，并把有限元计算结果和格林函数法结果进行了比较，为声表面波器件的结构优化和设计提供精确的参数。