| 金属镍微型静电马达的初步研制 |
| |
| 引用本文： | 王添平,王效东,解健芳,谭淞生,王渭源.金属镍微型静电马达的初步研制[J].传感技术学报,1995,8(2):69-73. |
| |
| 作者姓名： | 王添平 王效东 解健芳 谭淞生 王渭源 |
| |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所!上海市200050 |
| |
| 摘 要： | 设计了一种材料为金属镍的摆动式(WObble)微型静电马达,马达转子直径140μm,厚度8μm,外观总体尺寸1 mm×1 mm.此马达首先是在硅衬底上利用准LIGA技术电镀形成,然后利用RIE释放.文中给出了微型摆动式静电马达的设计思想和制作工艺,并对工艺及马达驱动中出现的一些问题进行讨论.
|
| 关 键 词： | 静电马达 反应离子刻蚀 镍 微型 马达 |
The Fabrication of a Nickle Electrostatic Wobble Micromotor |
| |
| Wang Tianping Wang Xiaodong Xie Jianfang Tan Songsheng Wang Weiyuan.The Fabrication of a Nickle Electrostatic Wobble Micromotor[J].Journal of Transduction Technology,1995,8(2):69-73. |
| |
| Authors: | Wang Tianping Wang Xiaodong Xie Jianfang Tan Songsheng Wang Weiyuan |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | electrostatic micromotor quasi-LIGA RIE |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《传感技术学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《传感技术学报》下载全文 |
|
