| 一种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法 |
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| 引用本文： | 耿赛柳,徐大诚,郭述文. 一种电容式微加速度计偏置电压和标度因数自动标定方法[J]. 传感器与微系统, 2013, 32(7) |
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| 作者姓名： | 耿赛柳 徐大诚 郭述文 |
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| 作者单位： | 苏州大学微纳传感器研究中心,江苏苏州,215100 |
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| 摘 要： | 电容式微加速度计的电学参数校准和标定产品制造过程中,通过对标度因数的定标过程能确保传感器输出的线性度.采用MS3110微小电容读取电路,根据其输出函数的要求,只要确定Cs1,Cs2,Cf3个电容值,通过(1,0,-1 gn)三点即能确定标度因数(SF)和偏置电压,这样就实现了电容式微加速度计的标度因数自动标定.实验结果表明:通过多次自动定标,传感器标度因数的相对误差为0.79％.
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| 关 键 词： | 电容式微加速度计 标度因数 自动标定 |
An automatic calibration method of capacitive micro accelerometer bias voltage and scale factor |
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| GENG Sai-liu , XU Da-cheng , GUO Shu-wen. An automatic calibration method of capacitive micro accelerometer bias voltage and scale factor[J]. Transducer and Microsystem Technology, 2013, 32(7) |
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| Authors: | GENG Sai-liu XU Da-cheng GUO Shu-wen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | capacitive micro accelerometer scale factor automatic calibration |
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