|
|||||
|
|
| 128×128PtSi红外焦平耐用硅衍射微镜阵列的设计与制备 | |
| 作者姓名： | 李毅 易新建 陈思乡 |
| 作者单位： | 华中理工大学光电子工程系,武汉,430074 |
| 摘 要： | 通过考虑互相关联的光学和工艺参数,设计了3～5μm红外128×128硅衍射微透镜阵列.阵列中微透镜的孔径为50μm,透镜F数为f/2.5,微透镜阵列的中心距为50μm.采用多次光刻和离子束刻蚀技术在硅衬底表面制备衍射微透镜阵列.对实际的工艺过程和制备方法进行了讨论,对制备出的128×128硅衍射微透镜阵列的光学性能和表面浮雕结构进行了测量. |
| 关 键 词： | 红外焦平面 衍射 微透镜阵列 硅 红外探测 |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《红外与毫米波学报》下载全文 | |