| 牵引用3 300 V平面栅IGBT栅极台面结构研究 |
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| 引用本文： | 肖强,梁利晓,朱利恒,覃荣震,罗海辉.牵引用3 300 V平面栅IGBT栅极台面结构研究[J].微电子学,2020,50(5):715-719, 725. |
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| 作者姓名： | 肖强 梁利晓 朱利恒 覃荣震 罗海辉 |
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| 作者单位： | 株洲中车时代半导体有限公司, 湖南 株洲 412001 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划资助项目(2018YFB1201802) |
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| 摘 要： | 针对机车牵引用3 300 V/1 500 A IGBT功率模块,采用TCAD仿真工具研究了不同栅极结构对器件静态和动态参数的影响。当平面栅IGBT采用栅极台面结构且台面厚度逐渐降低时,器件的静态阻断电压提高,开关损耗降低,但是器件的开关时间增加；此外,关断时过快的dv/dt会引起栅极电压振荡,开启时过快的di/dt会引起很大的电流过冲,导致器件应用的可靠性降低。在机车牵引的应用环境下,IGBT的栅极结构参数需要从电学参数和可靠性两个方面进行折中设计。
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| 关 键 词： | 机车牵引 平面栅IGBT 台面结构 可靠性 |
| 收稿时间： | 2019/12/31 0:00:00 |
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