| 真空退火对VO2薄膜物相及显微组织的影响 |
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| 引用本文： | 俞永伟,赵昆渝,李智东.真空退火对VO2薄膜物相及显微组织的影响[J].云南冶金,2008,37(1):40-42. |
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| 作者姓名： | 俞永伟 赵昆渝 李智东 |
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| 作者单位： | 昆明理工大学材料与冶金工程学院,云南昆明,650093 |
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| 摘 要： | 以V2O5粉末为原料,采用无机溶胶-凝胶法制备了V2O5凝胶膜,先经过在空气中的热处理后再经过真空退火处理得到了以VO2为主相的薄膜.利用X射线衍射和金相显微镜对不同实验条件下得到的薄膜的物相和表面形貌进行分析,得出了VO2薄膜物相及显微组织与真空退火条件之间的关系.
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| 关 键 词： | 真空退火 无机溶胶-凝胶法 VO2薄膜 显微组织 真空退火处理 薄膜 显微组织 影响 Microscopic Structure Thin Films Annealing Vacuum 关系 退火条件 分析 表面形貌 实验条件 金相显微镜 射线衍射 利用 热处理 空气 凝胶膜 法制 |
| 文章编号： | 1006-0308(2008)01-0040-03 |
| 修稿时间： | 2007年7月18日 |
The Influence of Vacuum Annealing on VO2 Thin Films and Microscopic Structure |
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| YU Yong-wei,ZHAO Kun-yu,LI Zhi-dong.The Influence of Vacuum Annealing on VO2 Thin Films and Microscopic Structure[J].Yunnan Metallurgy,2008,37(1):40-42. |
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| Authors: | YU Yong-wei ZHAO Kun-yu LI Zhi-dong |
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