| 基于MEMS的微流体机械研究进展 |
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| 引用本文： | 王沫然,李志信.基于MEMS的微流体机械研究进展[J].流体机械,2002,30(4):23-28. |
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| 作者姓名： | 王沫然 李志信 |
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| 作者单位： | 清华大学,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金重大资助项目 (59995550 -2 )，国家重点基础研究发展规划项目 (G1 9990 3 3 1 0 6) |
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| 摘 要： | 介绍了近十年特别是近三年以来微流动系统研究的最新成果，具体介绍了新型微加速度计、微泵、微喷、微阀、微通道及微系统的结构、原理及应用情况，并对微流动系统研究中存在的问题和发展方向作了简述。
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| 关 键 词： | MEMS 微流动系统 微加速度计 微泵 微喷 微阀 微通道 |
| 文章编号： | 1005-0329(2002)04-0023-06 |
| 修稿时间： | 2001年11月26 |
Investigation Progress in MEMS-based Micro Fluid Machinery |
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| Wang Moran,Li Zhixin.Investigation Progress in MEMS-based Micro Fluid Machinery[J].Fluid Machinery,2002,30(4):23-28. |
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| Authors: | Wang Moran Li Zhixin |
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| Affiliation: | Wang Moran Li Zhixin |
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| Abstract: | The newest progress in micro flow system is introduced, which includes new type of micro accelerometer, micro pump, micro nozzle, micro valve, micro channel and micro system. The structures, the mechanisms and the applications are provided. The problems in research and the trend of development are discussed. |
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| Keywords: | MEMS micro flow system micro accelerometer micro pump micro nozzle micro valve micro channel |
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