| 扩展电阻温度传感器的参数优化 |
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| 引用本文： | 李斌,刘百勇,郑学仁,黎沛涛. 扩展电阻温度传感器的参数优化[J]. 仪表技术与传感器, 2002, 0(1): 10-12 |
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| 作者姓名： | 李斌 刘百勇 郑学仁 黎沛涛 |
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| 作者单位： | 1. 华南理工大学应用物理系,广州市,510640
2. 香港大学电机电子工程系 |
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| 摘 要： | 对扩展电阻温度（SRT）传感器的阻温特性（R－T）进行了研究。实验结果表明，器件的结构尺寸、衬底的掺杂浓度大大地影响着器件的最高工作温度（Tmax），而工艺条件的影响很小。适当小的n^ 圆形半径和适当高的衬底掺杂可使SRT传感器的正温度系数（PTC）工作区在2mA的正向偏置电流下拓宽至400℃以上。
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| 关 键 词： | 扩展电阻 温度传感器 正温度系数 参数优化 SRT传感器 |
| 修稿时间： | 2001-07-23 |
Optimization of Silicon Spreading- Resistance Temperature Sensor |
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| Li Bin Liu Baiyong Zheng Xueren. Optimization of Silicon Spreading- Resistance Temperature Sensor[J]. Instrument Technique and Sensor, 2002, 0(1): 10-12 |
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| Authors: | Li Bin Liu Baiyong Zheng Xueren |
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| Affiliation: | Li Bin Liu Baiyong Zheng Xueren Department of Applied Physics,South China University of Technology,Guangzhou,510640 Li Peitao Department of Electrical and Electronics Engineering,The University of Hong Kong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Spreading Resistance Temperature Sensor Positive Temperature Coeffcient |
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