| 压电微动平台的改进PID控制 |
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| 引用本文： | 蔡成波,崔玉国,蔡永根,李勇.压电微动平台的改进PID控制[J].压电与声光,2016,38(3):441-444. |
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| 作者姓名： | 蔡成波 崔玉国 蔡永根 李勇 |
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| 作者单位： | （宁波大学 机械工程与力学学院，浙江 宁波 315211） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51175271)；教育部留学回国人员科研启动基金资助项目；浙江省高等学校中青年学科带头人学术攀登基金资助项目(Pd2013091) |
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| 摘 要： | 为使压电微动平台具有良好的静动态特性,即响应快,超调量小,无振荡及稳态误差小,采用比例、积分、微分(PID)控制法来对其进行定位控制。将常规PID控制中积分环节的矩形积分改进为梯形积分,以提高压电微动平台的控制精度;采用微分分离法对常规PID控制中的微分环节进行改进,以使压电微动平台在具有良好稳定性的情况下,具有很快的响应速度。实验验证了压电微动平台改进PID控制的有效性,结果表明,压电微动平台对4μm阶跃参考位移的响应时间为0.05s,输出略有超调,但无振荡,且稳态误差几乎为0;在变幅值三角波及任意波形参考输入作用下,压电微动平台的输出可很好地跟踪输入。
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| 关 键 词： | 微动平台 压电执行器 比例、积分、微分(PID)控制 梯形积分 微分分离 |
Improved PID Control of Piezoelectric Micro positioning Stage |
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| CAI Chengbo,CUI Yuguo,CAI Yonggen and LI Yong.Improved PID Control of Piezoelectric Micro positioning Stage[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2016,38(3):441-444. |
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| Authors: | CAI Chengbo CUI Yuguo CAI Yonggen and LI Yong |
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| Affiliation: | (Faculty of Mechanical Engineering and Mechanics, Ningbo University,Ningbo 315211,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-positioning stage piezoelectric actuator PID control trapezoidal integral differential separation |
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