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| 一等环规测量装置 | |
| 作者姓名： | 熊昌友 何学军 |
| 作者单位： | 中国航空长城计量测试研究所,北京,100095 |
| 摘 要： | 一等环规测量装置采用He-Ne稳频激光波长作为测量基准 ,应用干涉条纹进行绝对测量 ,配以高精度的数字细分电路 ,使仪器分辨力达到 5nm ;静态光电显微镜瞄准不确定度为 30nm ;精密定位技术使其驱动步距达到 5nm |
| 关 键 词： | 一等环规 激光干涉仪 静态光电显微镜 精密微位移 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |
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