PWS精密固结金刚石线锯的研发

介绍了两种类型固结金刚石线锯：树脂粘结的PWS-R型和电镀的PWS-E型,且均为多线锯锯床进行高效率和高精确度锯切而研发的。对这两种线锯进行了锯切单晶硅和蓝宝石晶棒试验以评估其性能。证实了这两种线锯比通常的游离磨料型线锯锯切具有高得多的效率。特别是PWS-E型线锯在锯切效率方面具有优越性,而PWS-R型线锯对晶片的损伤较少。