| 铟锡氧化物靶材的应用及管状靶材的爆炸成形 |
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| 引用本文： | 钟毅,王达健.铟锡氧化物靶材的应用及管状靶材的爆炸成形[J].稀有金属材料与工程,1997,26(4):60-63. |
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| 作者姓名： | 钟毅 王达健 |
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| 作者单位： | 昆明理工大学 |
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| 摘 要： | 铟在自然界是稀散金属，其氧化物具有许多优异的性能，合理利用铟资源的重要途径之一是生产铟锡氧化物（ＩＴＯ）靶材，介绍了ＩＴＯ靶材的应用领域，分析了平面ＩＴＯ靶材与管状ＩＴＯ靶材的特点，提出了ＩＴＯ管状靶材的爆炸成形技术，与现有成形技术相比，爆炸成形工艺特别适用于管状靶材成形，对制粉的要求将降低，不丧失粉末的优良性质，通过爆炸成形工艺的分析可知，适当控制状飞片厚度，飞行距离，爆速，炸药厚度并与粉末材料
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| 关 键 词： | 靶材 爆炸成形 ITO 镀膜 |
Application of ITO Target and the Explosive Forming Technology of ITO Tubular Target |
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| Zhong Yi,Wang Dajian,Liu Rongpei.Application of ITO Target and the Explosive Forming Technology of ITO Tubular Target[J].Rare Metal Materials and Engineering,1997,26(4):60-63. |
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| Authors: | Zhong Yi Wang Dajian Liu Rongpei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ITO target explosive forming |
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