| 平膜片式压力传感器有限元分析 |
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| 引用本文： | 任钧国,王洪业,欧阳勇.平膜片式压力传感器有限元分析[J].传感技术学报,2001,14(2):152-156. |
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| 作者姓名： | 任钧国 王洪业 欧阳勇 |
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| 作者单位： | 国防科技大学宇航与材料工程学院, |
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| 摘 要： | 本文用有限元方法分析平膜片式压力传感器弹性元件表面径向应变及切向应变与薄膜应变片阻值变化的联系后，根据电桥原理得到与其输出电压之间的关系，最终并分析了传感器之非线性精度。
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| 关 键 词： | 压力传感器 平膜片式 有限元分析 |
| 文章编号： | 1004-1699(2001)01-0152-05 |
| 修稿时间： | 2000年12月26日 |
Finite Element Analysis of Flat Diaphragm Pressure Sensor |
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| REN Junguo,Wang Hongye,OUYANG Yong.Finite Element Analysis of Flat Diaphragm Pressure Sensor[J].Journal of Transduction Technology,2001,14(2):152-156. |
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| Authors: | REN Junguo Wang Hongye OUYANG Yong |
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| Abstract: | After the relationship between radial and tangential strains and resistance changes of strain gage on the surface of elasticity pressure sensor is established by finite element method, the output voltage is related to the resistance changes in the electrical bridge, and the nonlinear precision of this kind of pressure sensor is analyzed. |
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| Keywords: | finite element pressure sensor nonlinear precision |
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