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离化团粒束：物理和技术

引用本文：	Yamada,I 华和.离化团粒束：物理和技术[J].国外核聚变与等离子体应用,1994(3):43-65.

作者姓名：	Yamada I 华和

摘要：
关键词：	团粒离化团粒束沉积薄膜生长
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