首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

用超宽行微波ECR等离子体源沉积DLC薄膜
作者姓名:Ishii  A 若河
摘    要:

关 键 词:DLC薄膜 沉积 等离子体应用 薄膜
本文献已被 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号