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反应等离子体与现代高技术

引用本文：	顾彪,徐茵.反应等离子体与现代高技术[J].国外核聚变与等离子体应用,1994(5):58-61,24.

作者姓名：	顾彪徐茵

摘要：
关键词：	反应等离子体低温等离子体等离子体加工
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