| 蓝宝石衬底上透明MgxZn1-xO薄膜的制备及表征 |
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| 引用本文： | 张希艳,刘全生,王玉霞,柏朝晖,王晓春,孙海鹰. 蓝宝石衬底上透明MgxZn1-xO薄膜的制备及表征[J]. 硅酸盐学报, 2010, 38(11): 2105-2109 |
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| 作者姓名： | 张希艳 刘全生 王玉霞 柏朝晖 王晓春 孙海鹰 |
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| 作者单位： | 长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022;长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022;长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022;长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022;长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022;长春理工大学光电功能材料教育部工程研究中心,长春,130022 |
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| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在Al_2O_3(001)衬底上制备了高Mg含量的Mg_xZn_(1-x)O薄膜,研究了Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构和光学性能。结果表明:Al_2O_3(001)衬底上Mg_xZn_(1-x)O薄膜的组分为Mg_(0.47)Zn_(0.53)O,薄膜呈六方纤锌矿结构,薄膜沿c轴方向取向生长,且c轴方向晶格增大0.0029 nm。薄膜的吸收边峰值位于292nm,对应的禁带宽度为4.24ev。薄膜平均粒径约为10～20nm,在深紫外-可见光激发下的荧光发射峰分别位于320nm和400nm附近。
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| 关 键 词： | 氧化锌镁 射频磁控溅射 蓝宝石衬底 透明薄膜 |
PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF TRANSPARENT MgxZn1-xO FILM DEPOSITED ON SAPPHIRE SUBSTRATE |
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| ZHANG Xiyan,LIU Quansheng,WANG Yuxia,BAI Zhaohui,WANG Xiaochun,SUN Haiying. PREPARATION AND CHARACTERIZATION OF TRANSPARENT MgxZn1-xO FILM DEPOSITED ON SAPPHIRE SUBSTRATE[J]. Journal of The Chinese Ceramic Society, 2010, 38(11): 2105-2109 |
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| Authors: | ZHANG Xiyan LIU Quansheng WANG Yuxia BAI Zhaohui WANG Xiaochun SUN Haiying |
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