激光全息光刻技术

激光全息光刻是激光束应用于超微细加工的突出一例,它在周期性精细几何图形产生方面独树一帜,已成为制造大面积、高分辨率、小畸变浮雕光栅的基本手段。这种技术用途甚广,尤其对集成光学器件的发展具有特别重要的意义。