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| 金属线宽及线间距渐变的射频螺旋电感 | |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 上海市科委资助项目 , 上海市教委资助项目 |
| 摘 要： | 为减少射频螺旋电感的金属导体损耗,提出了一种电感金属线宽及金属间距从外到内逐渐变小的新颖结构.与传统的固定金属线宽和间距的电感相比,该渐变结构电感涡流效应的影响较小,金属导体损耗减小,从而降低其串联电阻,品质因子Q值提高.实验结果确证了所提方法的正确性.对一个高阻硅衬底上6nH电感,优化设计的渐变结构电感Q值在2.46GHz处可达到14.25,比版图面积相同、固定线宽及间距的传统电感高11.3%.因此,在无线通信系统的射频前端,采用这种电感与射频集成电路结合,能获得更好的射频电路性能. |
| 关 键 词： | 射频螺旋电感 品质因子 涡流效应 金属损耗 RF spiral inductor quality factor eddy-current effect metal losses 金属 线宽 线间距 射频螺旋电感 Space Width Metal Gradually RF Spiral Inductor Analysis integrated circuits radio frequency gain better performance front wireless communication system size silicon |
Performance Analysis of RF Spiral Inductor with Gradually Changed Metal Width and Space |
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