| Nb掺杂BaTiO3薄膜的激光分子束外延及其特性 |
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| 引用本文： | 颜雷,吕惠宾,戴守愚,陈正豪,陈凡,赵彤,杨国桢.Nb掺杂BaTiO3薄膜的激光分子束外延及其特性[J].红外与毫米波学报,2002,21(Z1):61-63. |
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| 作者姓名： | 颜雷 吕惠宾 戴守愚 陈正豪 陈凡 赵彤 杨国桢 |
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| 作者单位： | 中国科学院物理研究所,光物理实验室,中国科学院凝聚态物理中心,北京,100080 |
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| 摘 要： | 用激光分子束外延方法在SrTiO3(100)基底上外延生长了BaNbxTi 1-xO3(0.01≤x≤0.03)导电薄膜.原子力显微镜测得BaNb0.3Ti 0.7O3薄膜表面均方根粗糙度在2μm×2μm范围内为2.4*!,达到原子尺度光滑.霍 尔测量表明BaNbxTi1-xO3薄膜为n型导电薄膜;在室温下,BaNb0 .02Ti0.98O3、BaNb0.2Ti0.8O3和BaNb0.3Ti0.7O 3薄膜的电阻率分别为2.43×10-4Ω*cm、1.98×10-4Ω*cm和1.297×10 -4Ω*cm,载流子浓度分别为5.9×1021cm-1、6.37×1021cm- 1和9.9 ×1021cm-1.
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| 关 键 词： | 激光分子束外延 氧化物薄膜 BaNb0.3Ti07O3 超晶格 n型导电薄膜. |
| 修稿时间： | 2001年6月12日 |
THE Nb DOPED BaTiO3 EPITAXIAL THIN FILMS GROWN BY LASER MOLECULAR EPITAXY AND ITS CHARACTERISTICS |
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| YAN Lei,LU Hui-Bin,DAI Shou-Yu,CHEN Zheng-HaoCHEN Fan,ZHAO Tong,YANG Guo-Zhen.THE Nb DOPED BaTiO3 EPITAXIAL THIN FILMS GROWN BY LASER MOLECULAR EPITAXY AND ITS CHARACTERISTICS[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2002,21(Z1):61-63. |
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| Authors: | YAN Lei LU Hui-Bin DAI Shou-Yu CHEN Zheng-HaoCHEN Fan ZHAO Tong YANG Guo-Zhen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | laser molecular beam epitaxy oxide thin film BaNb0 3Ti0 7O3 superlattice n-type conductive thin film |
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