硫镓银晶体腐蚀剂研究

本文对硫镓银晶体的化学腐蚀剂配比进行了研究。在以H_2O作为稀释剂的基础上通过大量实验对氧化剂和络合剂进行了选择,确定了HNO_3溶液作为氧化剂和H_2SO_4溶液作为络合剂的腐蚀剂配方。采用体积比1:1的65%的HNO_3与49%的H_2SO_4的腐蚀剂对(112)面AgGaS_2晶片进行择优腐蚀,8 min后,通过金相显微镜观察,获得了清晰的取向一致的三角形蚀坑。