| 四氟化硅的制备与提纯 |
| |
| 引用本文： | 陈学航,李焱,张建刚,高文龙,曹旭,陈烨,刘振东.四氟化硅的制备与提纯[J].硅酸盐通报,2015,34(7):1891-1895. |
| |
| 作者姓名： | 陈学航 李焱 张建刚 高文龙 曹旭 陈烨 刘振东 |
| |
| 作者单位： | 贵州大学化学与化工学院,贵阳,550025;贵州省产品质量监督检验院,贵阳,550004;中国航天建设集团有限责任公司,北京,100039 |
| |
| 基金项目： | 贵州省科学技术基金项目(黔科合J字[2013]2158号)%国家质检总局科技计划项目(2013QK251) |
| |
| 摘 要： | 四氟化硅(SiF4)是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位.详细介绍了四氟化硅的主要制备方法:硫酸法、Si-F2直接合成法、氟硅酸盐热解法和氢氟酸法,并对四氟化硅提纯工艺进行了比较.
|
| 关 键 词： | 四氟化硅 氟硅酸盐法 提纯 |
Preparation and Purification of Silicon Tetrafluoride |
| |
| CHEN Xue-hang,LI Yan,ZHANG Jian-gang,GAO Wen-long,CAO Xu,CHEN Ye,LIU Zhen-dong.Preparation and Purification of Silicon Tetrafluoride[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2015,34(7):1891-1895. |
| |
| Authors: | CHEN Xue-hang LI Yan ZHANG Jian-gang GAO Wen-long CAO Xu CHEN Ye LIU Zhen-dong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | silicon tetrafluoride fluosilicic acid salt purification |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《硅酸盐通报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《硅酸盐通报》下载全文 |
|
